日本EBARA荏原干式真空泵ESA70W(-D) ESA70WN(-D)維修
荏原制作所，離心泵理論的奠基者，創(chuàng)立于1912年（原名為井口式機械事務所），1920年更名為荏原制作所。經(jīng)過近百年發(fā)展，荏原已在建立了101家子公司和18家參股公司，共有雇員近20000人，躋身于世界機械制造業(yè)500強，成為規(guī)模大的泵類產(chǎn)品制造企業(yè)之一，年銷售額達45億多美金，其中泵類產(chǎn)品年銷售額超過22億美金，位居世界泵類銷量前2名。 日本荏原ESA70W(-D) ESA70WN干式真空泵
荏原制作所在日本設有三家大型工廠：富津工廠（為了強化世界范圍內(nèi)的供貨體制，將羽田工廠搬遷至富津工廠。富津工廠作為荏原泵制造據(jù)點母工廠，2010年開始運轉(zhuǎn)）藤澤工廠（建于1965年，主要生產(chǎn)通用泵、制冷機、半導體和產(chǎn)用機器裝置，是荏原制作所大的生產(chǎn)基地），袖浦工廠（主要生產(chǎn)壓縮機、氣輪機、燃氣輪機和高速旋轉(zhuǎn)機械）。
荏原的網(wǎng)絡遍及。在海外有60家子公司，其中泵制造公司有15家，縮短了產(chǎn)品供貨周期，快捷高效地服務于客戶。1988年在意大利Brendola成立的荏原泵業(yè)（歐洲）有限公司，于1992年在意大利Trento省的Cles建立了工廠，成為歐洲大的不銹鋼泵生產(chǎn)廠家。
荏原泵產(chǎn)品憑借其專業(yè)的技術和超高的產(chǎn)品質(zhì)量獲得世界各地*好評,被譽為“泵的巨人”。
日本荏原ESA70W(-D) ESA70WN干式真空泵
干式真空泵在使用過程中常見故障：
1、泵卡死不能運轉(zhuǎn)
2、真空度降低
3、起動困難
4、真空度抽不上去或抽上去穩(wěn)不住
5、噪音大
69、電機發(fā)熱
干式真空泵行業(yè)應用：
1. 分析儀器; 2. 電子顯微鏡; 3. 表面分析儀; 4. 檢漏儀; 5. 質(zhì)譜儀; 6. 光譜儀; 7. R&D; 8. 離子加速器; 9. 分子泵組; 10. 實驗室; 11. 工業(yè); 12. 燈泡生產(chǎn); 13. 真空鍍膜; 14. 深冷泵再生; 15. 電離清潔; 16. 干燥; 17. 上料預抽真空; 18. 需要特殊方案的特殊應用; 19. 已有的特殊版本; 20. He閉環(huán)回圈; 84. 超高真空系統(tǒng)分子泵背泵
為了滿足全國各地區(qū)真空客戶維修難、維修費用高等問題，蘇州高真空維修中心成立維修保養(yǎng)服務工廠,擁有專業(yè)的技術工程師，維修工程師都得到原廠的正規(guī)培訓，*有實力提供干泵的維修、保養(yǎng)服務。
昆山熙日目前主要維修的品牌：德國Pfeiffer普發(fā)干式真空泵,英國Edwards愛德華小型濕/干泵,日本ULVAC愛發(fā)科干式真空泵,法國Alcatel阿爾卡特干泵,美國Agilent安捷倫干式渦輪泵,德國Leybold萊寶干泵,日本EBARA荏原干泵,德國BUSCH普旭干泵,德國BECKER貝克干泵,美國WELCH韋爾奇干式WOB-L活塞泵,美國GAST嘉士達干泵,德國Rietschle里其樂干泵,日本Orion好利旺干式真空泵,日本IWATA巖田無油渦旋式干泵,日本Kashiyama樫山干泵。
Model ESA系列
羅茨真空泵 抽氣速度：30,000L/min 適合輕制程 Model ESA系列是新研發(fā)的*干式真空泵，具有優(yōu) 越的高速排氣性能，從而適應了LCD濺射制膜 裝置，真空干燥制程，大型 L/L等工藝要求。并擁有高附加價值，對應氣體 負荷自動控制轉(zhuǎn)速，高通信功能等。
特點:
● 較適用于大型真空反應室的高速排氣
● 具有高性能通信機能
● 轉(zhuǎn)速自動調(diào)節(jié)功能
● 采用高度控制泵運轉(zhuǎn)方式
● 采用大口徑轉(zhuǎn)子，設計上*小型
● 不產(chǎn)生真空泵大型化所引起的搬運性能降低
● 也可用于有機溶劑排氣上用的特別規(guī)格
| Model ESA系列 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Model | ESA15-D | ESA25-D | ESA70W(-D) ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF ESA80WN-HDF | ESA100W ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W |
Pumping-Speed (L/min)(50Hz/60Hz) | 1,400/1,700 | 2,500/3,000 | 7,000/8,400 | 8,400 | 10,000 | 20,000 | 28,000/30,000 | 47,000/50,000 |
*Typical Application | MO-CVD -Large volume load lock- Other clean vacuum | Large volume load lock Other clean vacuum | ||||||
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