陶瓷電容
壓力計 CCMT-D系列
CCMT-D系列使用的陶瓷隔膜隨氣體壓力變化發(fā)生變形，伴隨這種變化的靜電容量檢出壓力的電容計。傳感器部位屬于陶瓷一體構(gòu)造，配備*的再現(xiàn)性，穩(wěn)定性，不分氣體種類，精確測量出低中真空領(lǐng)域壓力。
特點(diǎn)
日本愛發(fā)科陶瓷電容壓力真空計CCMT-D系列?
- 長期間的穩(wěn)定性
- 陶瓷膜的采用導(dǎo)致*的防腐蝕性
- 溫度補(bǔ)償回路內(nèi)藏類型
- 新采用從污垢中保護(hù)傳感器的構(gòu)造
- 推鈕可以調(diào)整0點(diǎn)
用途
- 成膜裝置過程中的壓力顯示器使用
- 真空溶解，真空熱處理爐等的真空排氣系統(tǒng)的壓力顯示器使用
- 太陽電池等的各種制造裝置的壓力顯示器使用
規(guī)格
日本愛發(fā)科陶瓷電容壓力真空計CCMT-D系列
| 型號 | CCMT-D | ||
| 全測定 | CCMT-1000D | 133kPa F.S. | |
| CCMT-100D | 13.3kPa F.S. | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa F.S. | ||
| CCMT-1D | 133Pa F.S. | ||
| 分辨率 | 對于全測定0.003% | ||
| 精度 *1 | 對于指示值 ±0.2% ±溫度系數(shù) | ||
| 溫度系數(shù) | 零電壓 | 0.005% F.S. / ºC | |
| 跨距電壓 | 0.01% R / ºC | ||
| 使用溫度范圍 | 10?50ºC | ||
| 應(yīng)答速度 | 30ms以下 | ||
| 連接氣體部材質(zhì) | Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3 | ||
| 輸入電源 | DC14?30V, 1W | ||
| 輸出 | DC 0?10VF.S | ||
| 重量 | 329g（直徑12.7?標(biāo)準(zhǔn)型） | ||
| 外形尺寸 | 直徑55mm×117mm (直徑12.7mm?標(biāo)準(zhǔn)型) | ||
| 配件 | 標(biāo)準(zhǔn)：直徑12.7管道 可選：NW16KF、UFC-034、Cajon 8VCO、Cajon 8VCR | ||
| 溫度補(bǔ)償 | 溫度補(bǔ)償回路內(nèi)臟 | ||
| 輸入輸出連接器 | D-sub 15引腳 | ||
| *1：2小時電源接通后，使用環(huán)境溫度25ºC |
| *2：18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe |
| *3：28% Ni, 23% Co, 49% Fe |
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